ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота

Название англ.: Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination

Содержание госта: Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами